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• 010 __ |a 978-7-118-11947-3 |d CNY188.00 |f CNY169.20

• 092 __ |a CN |b Rt923-0647

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• 200 1_ |a MEMS技术前沿与应用发展 |A MEMS ji shu qian yan yu ying yong fa zhan |b 专著 |d The frontier and application development of MEMS technology |f 尤政，赵嘉昊编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2019.10

• 215 __ |a 14,348页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 330 __ |a 本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术，然后从共性技术、典型应用等角度重点介绍了各类MEMS技术的国内外进展，国内外MEMS应用研究的实例，MEMS应用现状及发展趋势。

• 333 __ |a 本书适合于MEMS技术、微系统技术等领域的科技开发者、科研管理者，高等院校的科研人员、高年级本科生、研究生以及相关科技人员阅读

• 462 _0 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列 |1 2001

• 510 1_ |a Frontier and application development of MEMS technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 尤政 |A you zheng |4 编著

• 701 _0 |a 赵嘉昊 |A you zheng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20200513

• 856 __ |q PDF/EPUB |s 98346.57K |u http://www.cxstar.com/Book/Detail?pinst=P6u77RH0me5oQF0l5w3&ruid=28bbab0d0002b2XXXX

• 904 __ |a 28bbab0d0002b2XXXX |b 电机与电器 |c 可供 |d 成人学术 |e 否

• 905 __ |a LYVC |d TM38/E0070374

• 906 __ |a E0070374 |b E0070374 |c TM38/E0070374 |d 电子图书 |e 169.20

• 920 __ |a 441400 |z 1