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• 200 1_ |a 基于MEMS技术的热梯度器件研究 |A ji yu MEMS ji shu de re ti du qi jian yan jiu |f 聂金泉著

• 210 __ |a 北京 |c 中国水利水电出版社 |d 2019.04

• 215 __ |a 192页 |c 图 |d 24cm

• 312 __ |a 封面英文题名：Research on thermal gradient devices based on MEMS technology

• 330 __ |a 本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元，采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响，为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。

• 333 __ |a 微机电系统技术研究人员

• 510 1_ |a Research on thermal gradient devices based on MEMS technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |x 工艺过程设计

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 聂金泉 |A nie jin quan |4 著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20190408

• 856 __ |q image |s 84469.99K |u http://www.cxstar.com/Book/Detail?pinst=P6u77RH0me5oQF0l5w3&ruid=26f4d532000939XXXX

• 904 __ |a 26f4d532000939XXXX |b 电机与电器 |c 可供 |d 成人学术 |e 否

• 905 __ |a LYVC |d TM38/E0100614

• 906 __ |a E0100614 |b E0100614 |c TM38/E0100614 |d 电子图书 |e 29.50

• 920 __ |a 441400 |z 1