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电子图书1.机电与微机电系统设计 TH-39,TM38/E0028838
馆藏复本:1
可借复本:1 聂伟荣,曹云,陈荷娟主编
南京大学出版社 2021.12
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电子图书2.硅基MEMS制造技术 TH-39/E0038417
馆藏复本:1
可借复本:1 王跃林,吴国强等编著
电子工业出版社 2022.04
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电子图书3.微型环境动能收集技术 TH-39/E0071547
馆藏复本:1
可借复本:1 温志渝,邓丽城,温泉等著
国防工业出版社 2018.12
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电子图书4.硅MEMS工艺与设备基础 TH-39/E0071522
馆藏复本:1
可借复本:1 阮勇,尤政编著
国防工业出版社 2018.12
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电子图书5.惯性MEMS器件原理与实践 TH-39/E0075079
馆藏复本:1
可借复本:1 (德)沃克尔·肯普(Volker Kempe)著
国防工业出版社 2016.05
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