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- 题名/责任者:
- 基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著
- 出版发行项:
- 北京:中国水利水电出版社,2019.04
- ISBN及定价:
- 978-7-5170-7299-7/CNY59.00
- 载体形态项:
- 192页:图;24cm
- 个人责任者:
- 聂金泉 著
- 学科主题:
- 微电机-工艺过程设计
- 中图法分类号:
- TM38
- 相关题名附注:
- 封面英文题名:Research on thermal gradient devices based on MEMS technology
- 提要文摘附注:
- 本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
- 使用对象附注:
- 微机电系统技术研究人员
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/E0100614 | E0100614 | 罗庄校区—电子图书 | 可借 | 电子图书 |
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