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MARC状态:已编 文献类型:电子图书 浏览次数:41

题名/责任者:
基于MEMS技术的热梯度器件研究/聂金泉著
出版发行项:
北京:中国水利水电出版社,2019.04
ISBN及定价:
978-7-5170-7299-7/CNY59.00
载体形态项:
192页:图;24cm
并列正题名:
Research on thermal gradient devices based on MEMS technology
个人责任者:
聂金泉
学科主题:
微电机-工艺过程设计
中图法分类号:
TM38
相关题名附注:
封面英文题名:Research on thermal gradient devices based on MEMS technology
提要文摘附注:
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
使用对象附注:
微机电系统技术研究人员
电子资源:
http://www.cxstar.com/Book/Detail?pinst=P6u77RH0me5oQF0l5w3&ruid=26f4d532000939XXXX
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索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TM38/E0100614 E0100614   罗庄校区—电子图书     可借 电子图书
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