MARC状态：已编 文献类型：电子图书 浏览次数：44
- 题名/责任者:
- 纳米集成电路制造工艺/张汝京等编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2014.07
- ISBN及定价:
- 978-7-302-36027-8/CNY69.00
- 载体形态项:
- 13,433页:图;26cm
- 个人责任者:
- 张汝京 编著
- 学科主题:
- 纳米材料
- 学科主题:
- 集成电路工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书介绍纳米集成电路的制造工艺，共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面，很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员，有一定的参考价值。
- 使用对象附注:
- 相关领域的从业人员
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 校区—馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN405/E0198137 | E0198137 | 罗庄校区—电子图书 | 可借 | 电子图书 |
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