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首记录 上一条 1 / 3 下一条 尾记录 MARC状态:已编 文献类型:电子图书 浏览次数:55

题名/责任者:
三维集成电路制造技术/王文武主编
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2022.07
ISBN及定价:
978-7-121-43902-5/CNY139.00
载体形态项:
15,360页:图;24cm
丛编项:
集成电路系列丛书/王阳元主编.集成电路制造
个人责任者:
王文武 主编
学科主题:
集成电路工艺
中图法分类号:
TN405
一般附注:
“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 国家出版基金项目 集成电路产业知识赋能工程
提要文摘附注:
本书介绍了三维集成电路制造工艺、FinFET和纳米环栅器件、三维NAND闪存、新型存储器件、三维单片集成、三维封装等关键核心技术。
使用对象附注:
集成电路工艺学习人员
电子资源:
http://www.cxstar.com/Book/Detail?pinst=P6u77RH0me5oQF0l5w3&ruid=2ae581620000f5XXXX
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 校区—馆藏地 书刊状态 还书位置
TN405/E0029982 E0029982   罗庄校区—电子图书     可借 电子图书
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