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题名/责任者:

新型微纳传感器技术/赵玉龙，蒋庄德著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2022.12

ISBN及定价:

978-7-122-42346-7 精装/CNY128.00

载体形态项:

244页:图;26cm

并列正题名:

Micro and nano sensor technology

个人责任者:

赵玉龙 著

个人责任者:

蒋庄德 著

学科主题:

微电机-传感器

中图法分类号:

TP212

一般附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版 西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材

提要文摘附注:

本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。

使用对象附注:

本书可供高等院校、科研院所等单位的传感器技术、微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业的师生作为教材使用，也可供从事传感器、MEMS、仪器仪表等相关专业的技术人员学习参考

电子资源:

http://www.cxstar.com/Book/Detail?pinst=P6u77RH0me5oQF0l5w3&ruid=2becdbd5000159XXXX

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