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题名/责任者:

微系统设计与制造/王喆垚编著

版本说明:

2版

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2015.10

ISBN及定价:

978-7-302-39167-8/CNY98.00

载体形态项:

742页:图;26cm

并列正题名:

Microsystem design and fabrication

丛编项:

信息、控制与系统技术丛书

个人责任者:

王喆垚 编著

学科主题:

微电子技术-教材-设计-高等学校

学科主题:

微电子技术-教材-制造-高等学校

中图法分类号:

TN40

提要文摘附注:

本书主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。

使用对象附注:

高校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师等

电子资源:

https://www.cxstar.com/Book/Detail?pinst=P6u77RH0me5oQF0l5w3&ruid=21e79fc5000001XXXX

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